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—电子元器件和电路的芯片级失效定位分析平台


包括扫描电子显微镜(SEM),聚焦离子束系统(FIB),光发射显微系统(EMMI)等。可进行显微形貌观察,芯片微纳尺度的精细切割和电路修改,正反面nA级微光探测定位,定位精度小于2μm。